出售9成新美国ZYGO平面干涉仪，150MM激光干涉仪主体+100MM平面镜头+立试支架 （带手柄带显示器），配软件,型号GPIXP/D

美国ZYGO激光干涉仪

菲索型激光干涉仪，具有专利的环形光源伪迹消除抑制技术，是一种高 精度、共光路面形计量干涉仪。ZYGO新一代激光干涉仪系列--VeriFire?激光干涉仪，继承了工业标准GPI?激光干涉仪系列的所有优点，融合了机械相移技术、革命性的数据采集技术、高性能的光电成像系统、振动补偿软件、非球面测量技术和波纹抑制技术等，是ZYGO 技术的集中体现。 Zygo 新推出用于在震动环境下测量的DynaFiz干涉仪。

系统:

测量功能：精密测量各种反射面和光学系统的表面面形、精密测量光学系统的传输波前

测量技术：机械相移干涉测量（PSI）

校准系统 ：快速条纹采样系统(QFAS) (双光点定位于十字线)

测量光束直径 ：4″（102mm）或6″（152mm）

对准视场范围FOV ：4″：±3°；6″：±2°；

光学中心线 ：4.25″（108mm）

激光光源：大功率稳频氦-氖激光，IIIa 级

波长： 633 nm

频率稳定度： < 0.0001 nm

相干长度 ：＞100m

成像分辨率 ：1000 x 1000 像素

帧速 ：43Hz

数据采集时间 ：302ms

数据模式： 8位

放大 ：电控数显放大1-5X

偏振 ：接近圆偏振（1.2：1或者更好）

光曈调焦范围： 4″：±2.5m；6″：±5.5m；

计算机和软件 ：高性能DELL PC，Windows7，64位，ZYGO专利软件MetroproTM X和MetroproTM 9

安装构造 ：水平卧式或垂直立式

附件 ：详细参考ZYGO 激光干涉仪附件向导文件，OMP-0463

尺寸(长x宽x高)： 4″：69 x 31 x 34 cm (27.3 x 12.1 x 13.4 in.)；6″：92 x 31 x 34cm （36.4 x 12.1 x 13.4 in.）

性能参数：

RMS重复性： < 0.06 nm, λ/10,000 (2σ)

RMS波前重复性：< 0.35 nm,λ/1800 (mean + 2σ)

像素峰值偏差：< 0.5 nm, λ/1200 (99.5th )

工作环境：

温度:15°C - 30°C (59°F - 86°F)

温度变化率： ＜1.0°C/15min

湿度:相对湿度5 - 95 , 无凝结

隔振:机械移相测量模式推荐使用被动隔振系统。