美国ZYGO干涉仪

二手进口美国ZYGO激光（平面  球面）干涉仪配置说明：

二手进口美国ZYGO激光（平面  球面）干涉仪

1、ZYGO GPI XP/D 型激光干涉仪

1) 对准系统： 快速条纹采样系统(QFAS) (双光点定位于十字线)

2) 放大范围： 6:1（非连续式放大，低失真）调整可视范围

3) 尺寸：308 x 694 x 308 mm

4) 重量：36 Kg

5) 原装控制手柄一个

二手进口美国ZYGO激光（平面  球面）干涉仪

2、ZYGO原装MetroPro测量软件

1)  Microsoft Windows XP专业版下运行的ZYGO MetroPro软件

2)  测量方法：激光三维相移干涉法

3)  测量功能：精密测量各种不同反射面或光学面的形貌及特性

二手进口美国ZYGO激光（平面  球面）干涉仪

3、4英寸标准平面镜头1个

二手进口美国ZYGO激光（平面  球面）干涉仪

4、计算机 ：LENOVO PC主机一台；电脑液晶彩显两台,

性能参数：

1、测量重复性：1λ/300 (2σ )

2、RMS 重复性：2 λ/10,000 (2σ)

3、数据采样： 640x480 像素,8位

4、分辨率：>λ/8,000

5、条纹分辨率：180条纹

7、数据采样时间：低分辨率(7幅数据图像):93 ms ；高分辨率(13幅数据图像):173 ms

8、测量光束直径：102 mm