等离子光氧一体机，综合采用了等离子废气净化器和紫外光触媒除臭废气净化器两种设备的优点组合而成，利用等离子分解技术和UV紫外光解技术结合，对废气和臭气进行协同净化处理：有机废气和恶臭气体进入集成设备后，经过UV紫外光束区时，被紫外光波高能率地照射，瞬间产生光解反应；经过等离子体电场时，在纳秒级时间范围内，产生裂变分解反应；如此协同产生一系光解和分解反应，经过多级净化后从而达标排放。等离子分解区

等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，采用脉冲高频高压等离子体电源，利用双介质齿板放电北装置，以电形式产生等离子体，在毫秒级的时间内，把空气和废气分子击穿，发生一系列分化裂解反应，产生高浓度、强度、高能量的各种活性基、电子、离子、臭氧、原子氧、生态氧等，在纳秒级的时间内，瞬间对废气和臭氧分子进行氧化还原反应；活性可以有效地破坏各种病毒、细菌中的核酸，蛋白质，使其不能进行正常的代谢和生物合成，从而致其死亡；而生态氧能迅速将有机废气分子异味气体分解可还原为低分子无害物质；另外，借助等离子体中的离子与物体的聚合吸附作用，可以对小至亚微米级的细微有机废气颗粒物进行有效的吸附沉降处理。

放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。