洁净室设计的洁净室建筑平面布置要注意平面形状的简洁,功能分区明确,管线隐蔽空间的合理分布,生产工艺和设备更新的灵活性以及防火疏散的安全性等向题。

洁净厂房建筑平面组合形式常采用贴邻、块状、围合等组合方式。根据不同的跨度、高度和柱网来组织空间。在具体平面布置时要考虑下列情况。

一、洁净室与一般生产室分区集中布置

对于洁净厂房来说,有空气洁净度要求的生产房间往往仅为部分工序或者部分部件的生产区,即使是全部产品生产区要求具有不同等级的洁净室(区),但洁净厂房内还有生产辅助用房、公用动力和净化空调机房等为一般环境,所以洁净厂房内部往往兼有洁净生产环境和一般生产环境。各类产品生产用洁净室要求的空气洁净度等级是决定洁净生产区平面布置的主要因素。在进行综合性厂房的平面布局时,一般应将洁净室(区)与一般生产环境的房间分区集中布置,以有利于人流、物流的安排和防止污染和交又污染,也有利于净化空调系统及其管线的布置和减少建筑面积等。

二、洁净室及其公用动力设施的布置

净化空调系统、水、气净化装置和电气装置是清洁厂房的重要组成部分。它们的面积在洁净厂房建造中占有较大比例。这些洁净厂房的规模、设备特点、位置及其配水管网的布置对洁净厂房的空间组合和规模有很大的影响。为了取得良好的使用效果和经济性，有必要解决它们与生产过程之间的布局关系。

1、集中设置，该类机房在厂区内的位置布置主要针对生产工艺布置的特点和要求，以及供、回风管道的长度。当厂房面积不大、系统简单、管线交叉不多时,可将送回风干管布置在上部技术夹层;当厂房的面积较大、较长,或者系统划分较多时,宜沿厂房长边布置机房,每个系统可以直接与所服务的洁净室对应排列;当采用顶部技术夹层时,送回风干管走向与屋顶承重构件方向相平行,可以究分利用空间。有的洁净室工程,将机房设置在技术夹层的顶部,不仅缩短了风管长度而且节省了用地。

2、分散设置、工厂建筑面积大或生产区域太分散，计算机房集中安装使布置困难，经技术经济比较，也可分为若干机房。在技术改造工程中,往往因原有房屋空间条件所限,需将净化空调设备分散设置在各洁净室的附近。分散设置方式的风管短,布置灵活,较能适应和利用原有空间,但在实际应用时应充分考虑噪声与振动对产品生产可能带来的影响。

3、混合设置：在一些项目中，大部分清洁生产区安装的净化空调装置既采用集中净化空调机房，又在特定的局部空间采用分散式净化空调装置，以满足生产工艺的需要。它具有集中和分散的特点，更经济、更灵活，满足了产品生产的要求。

近年来,在大规模集成电路生产用洁净厂房中常常采用隧道式送风、集中送风和风机过滤单元（FFU）送风方式,各类机房的布置基本采用“混合设置”的方式,即新风处理机集中设置,循环空气机组分散设置。

三、洁净室在布置时,应尽量避开变形缝,以利维护结构的密闭性

为了保证洁净室围护结构的气密性(抗渗性)，避免裂缝，除了围护结构的材料选择和结构处理外，还应使主体结构具有良好的抗震性能、温度变形控制性能和基础不均匀沉降性能。在地震多发区，主体结构应具有良好的整体性和足够的刚度，洁净室主体结构应尽量受力均匀，车间变形缝应尽量避免穿过洁净区。