等离子净化器又称低温等离子废气净化器，在电催化总的设计概念下，分三个即独立又混成的激发系统：微波激发区、等离子激发区 每个激发区有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。

等离子废气净化器采用高压发生器形成低温等离子体，等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的 放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。

放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态。等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等粒子，使污染物分子在短的时间内发生分离，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。在平均能量约5eV的大量电子作用下，通过净化器的苯、甲苯、H2S、CS2、SO2等废气分子转化成各种粒子，与空气中的O2结合生成H2O、S、CO2等低分子无害物质，使废气净化。