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产品参数
加工定制
是
种类
元素半导体
特性
半导体
用途
用于晶圆蚀刻
图文介绍
ESC静电卡盘
静电卡盘系统由静电吸附控制器、静电吸附单元及组成。静电吸附主机具有漏电保护、电流过载保护及高压脉冲保护；静电吸附单元电极采用高频导体，表面一种采用氮化铝陶瓷覆膜，另外一种采用聚酰亚胺薄膜覆膜，在保证输出稳定，同时避免高压静电压尖锐击穿。静电卡盘系统由静电吸附控制器、静电吸附单元及组成。静电吸附主机具有漏电保护、电流过载保护及高压脉冲保护；静电吸附单元电极采用高频导体，表面一种采用氮化铝陶瓷覆膜，另外一种采用聚酰亚胺薄膜覆膜，在保证输出稳定，同时避免高压静电压尖锐击穿。
企业简介
企业法人：
李曼
企业类型：
有限责任公司(自然人投资或控股)
成立日期：
2016-06-16
经营状态：
-
工商注册号：
社会统一信用代码：
91442000MA4UQQ1193
组织机构代码：
-
注册资金：
300.000000万人民币
经营范围：
研发、生产、销售：电子产品、机械设备；货物及技术进出口。(依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动)〓
企业地址
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