分子泵，深冷泵，进口机械泵，精控

Peva-900E / I高精度电子束蒸发器系统是批量生产设备，专用于具有线宽要求的功率IC器件，GaAs晶片和MEMS的提离工艺。电子束蒸发器主要用于肖特基，MMIC，欧姆和栅极或ITO，SiO2生产工艺的金属化。独特的蒸发室设计可实现更高的产量和更高的精度，可靠性以及对工艺的要求。

　　特征

　　AST Peva-900E / I的功能包括：

　　（1）圆顶和坩埚响应的优化设计提离和低温需求。

　　（2）连续运行的薄膜均匀度控制在±3％以内，以确保整体产品产量

　　（3）*佳的蒸发器室和泵送系统设计，有效地缩短了循环时间并增加了材料使用率（> 20％）

　　（4）具有*佳可靠性的薄片（<100mm）制造工艺

　　（5）全自动智能PC控制系统，可满足对工厂自动化日益增长的需求。

　　（6）具有诸如增加至200mm的大尺寸，亚微米级，制造能力和更有效的材料使用，更高的产量，可靠性和集成的地面空间使用等优点。

　　规格参数

　　沉积室：

　　单壁 304L不锈钢制，电抛光。

　　直径约900 mm x高度900 mm（内部）

　　沉积室泵送系统和真空测量：

　　1台CTI Torr-400，低温泵（水为16000升/秒），16“ID ASA翻边。

　　1台CTI 9600，液氦低温水冷压缩机（10'He管线）

　　低温泵自动再生功能。

　　1 AST，高真空阀3位，带可调节流阀位置（3个位置），ASA 16“-（19”x 15“）法兰，气动执行机构打开/关闭。

　　1台Leybold WA251和D60C，1台罗茨泵和1台两级旋转叶片泵（5000升/分钟），ISO 63进口法兰。

　　1个粗加工阀，ISO 63，波纹管密封，通过气动执行机构打开/关闭。

　　1个通风阀，KF 25，波纹管密封隔离。

　　1个防湍流阀，直径1/4“，用于延迟通风。

　　1个前线阀，KF 40，波纹管密封，通过气动执行机构打开/关闭。

联系电话：鲁经理