美国ALICAT  M 系列 数字式质量流量计产品概述: 

Alicat 的 M 系列数字式质量流量计可快速精地测量过程气体的质量流量、 体积流量、压力和温度。 

Alicat 的 M 系列质量流量计采用专有的内部补偿型层流压差技术，使得大 流量范围下气体仍旧保持层流运动，充分补偿因压力和温度引起的体积流 量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。所有 Alicat 质量流 量计均具有 NIST 可溯源校准证书。 

M 系列质量流量计内部无可移动组件和热元件，通过抗振动测试，对安装 方向不敏感。

licat 的 M 系列质量流量计带有集成式多功能数字显示屏， 用户可通多显示屏按钮操作在内置 98 种标准气 体中进行任意切换，同时开放模拟通讯和 RS-232 数字通讯模式。我们为用户提供广泛的定制化服务以满 足各类特殊的项目需要，如：用于危险环境的 ATEX(欧洲) 1 类 2 区和 CSA(美国)1 类 2 区认证产品等。 另有耐腐蚀系列(MS 系列)、低压损系列(MW 系列)和便携式系列(MB 系列)质量流量计可选。

美国ALICAT  M 系列 数字式质量流量计产品应用: 

Alicat 的 M 系列数字式质量流量计广泛应用于各行业领域，如：研究、泄漏测试、环境监测、真空 镀膜、半导体、汽车制造、光伏、燃料电池、光纤制造、计量以及过程工艺气体测量等。多变量测量、 多种气体标定以及 200:1 量程可调比使得仅用一台 Alicat 质量流量计便可取代多台设备发挥的功效。很高 可达 0.4%的精度、0.2%重复性及不到 10 毫秒的测量响应速度很优化了气体测量过程。 

M 系列质量流量计可测量从 0-0.5 SCCM 到 0-4000SLPM 的满量程的任何流量。

美国ALICAT  M 系列 数字式质量流量计参数: 

0 – 0.5 sccm 满量程到 0 – 4000 slpm 满量程

产品性能： M 系列质量流量计

精度(调零后标准条件下): ± (0.8%Rdg + 0.2%F.S)  

高精度选配(调零后标准条件下): ± (0.4%Rdg + 0.2%F.S)

高精度(选配)仅适用于量程为: 5SCCM ~ 500SLPM 的设备  

精度(双向流量型号):± (0.8%Rdg + 0.2%F.S)

(调零后标准条件下):F.S:负满量程到正满量程

重复性:± 0.2% F.S

零点漂移&满量程漂移: 0.02% F.S / ºC / Atm  

工作范围 / 量程可调比: 0.5% ~ 100 F.S / 200:1  

很大可测流量: 128% F.S    

典型响应时间: 10 毫秒(可调整)

启动预热时间: < 1 秒      

运行工况: M 系列质量流量计

标准工况 (STP)：25ºC & 14.696 psia、20ºC & 14.696 psia、0ºC & 14.696 psia (三种工况供切换)  

工作温度：−10 ~ +50 ºC

工作湿度范围 (非冷凝)：0 ～ 100    

内部很大工作压力(静压)：145 psig

设备允许通过的很大瞬时压差(入口压力－出口压力) ：75 psid    

很限压力：175 psig

对安装方式/方向的要求：无  

防护等级：IP40

材质：303 & 302 不锈钢, Viton®, 硅胶 RTV (橡胶), 玻璃增强尼龙, 铝