日本原装光驰带射频源光学镀膜机  进口光学电镀机  日本原装真空镀膜机含冷水机，变压器130KVA，一套镀膜伞架，日本电子180度，
24穴+环形坩埚，美国POILCOLD1102,17寸RF射频源，2401机械泵，光控+6点晶控（XYC--3)

真空室SUS304,φ1300mm×1920mm (H)

工件架 φ1600mm

工件架转速10rpm to 30rpm(可变)

光学膜厚控制HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪

波长范围：350nm to 1100nm

反射式或透射式

石英晶振膜厚计XTC/3+6点式石英晶体传感器

离子源23cmRF离子源

排气系统 机械泵+2个扩散泵+Polycold（或2个冷凝泵）

达到压力7.0×10-5 Pa以下

排气时间20分（大气压～1.3×10-3 Pa)

基板温度 ：350℃

特点：

OTFC系列是用于生产红外截止滤光片、分色滤光片等成膜的真空镀膜装置。

真空室尺寸：Φ600-1800mm

60点/80点式光学膜厚监控使用均匀分布的高离子电流密度的离子源

多点和环型坩埚可镀100层以上

利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程

0