青岛45号钢板、 65锰钢板

   利用PVD多弧离子溅射在65Mn钢试样基体表面分别沉积TiN,TiAlN和AlCrN涂层,并进行纳米压痕试验和划痕试验,对比其表面硬度和膜-基结合强度,分别采用UMT-2摩擦磨损试验机在不同载荷（5N,10N,15N,20N）下对4种试样进行摩擦磨损试验,对比不同氮化物硬质涂层对65Mn钢割灌机刀片摩擦磨损性能的影响,分析其磨损机理。 

     对深松铲材料ZG 65Mn进行了不同参数的热处理,对比了不同退火温度和不同回火温度ZG 65Mn的硬度和冲击韧性,研究了热处理参数对显微组织和力学性能的影响。结果表明,ZG65Mn经900℃退火、840℃淬火并200℃回火处理的显微组织主要为回火马氏体,综合性能优,不仅具有高的硬度,还具有较好的冲击韧度。 

 为了评估极紫外光刻（EUVL）机结构材料的氢损伤行为,提出首先采用低压气相充氢的方法获得不同充氢时间下材料内的氢含量及其变化趋势,同时采用电解充氢恒载荷拉伸试验获得不同氢含量材料的门槛应力值、氢脆指数及变化趋势;然后将两者结合从而评判一种材料在低压气相氢环境中的氢脆敏感性及其随时间的变化趋势。采用该试验方法对比测试了304不锈钢（304SS）和65Mn弹簧钢在低压环境中的氢损伤行为,结果表明:两种材料置于室温10Pa氢环境的时间越长,其氢脆敏感性越低,越不容易发生氢损伤;且材料内氢含量相同的条件下,65Mn弹簧钢比相304SS的氢脆敏感性高。该试验方法可用于EUVL中大部分结构材料的氢损伤行为评估,且试验结果具有指导意义。