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产品参数
品牌
光弛
型号
OTFC-1550
图文介绍
工厂转让一台日本原装OTFC-1550真空电镀膜机
真空室尺寸：Φ600-1550mm
60点/80点式光学膜厚监控
使用均匀分布的高离子电流密度的离子源
搭载双电子，多点和环型坩埚可镀100层以上
利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程
工件架可选择钟罩式或行星式
排气系统可选择扩散泵+低温冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵
规格
设备名称OTFC-1550CBI/DBI
真空室SUS304, φ1550mm
工件架φ 1550mm
工件架转速10 rpm to 30 rpm (可变)
光学膜厚控制HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪波长范围：350nm to1100nm反射式/透射式可选
水晶式膜厚计XTC/3+6点式水晶传感器
蒸发源电子2套
离子源10cm RF 离子源
排气系统机械泵+1个扩散泵+Polycold（或1个冷凝泵）
性能
达到压力7.0 × 10-5 Pa 以下
排气时间15 分 (大气压 1.3×10-3 Pa)
基板温度：350℃
工作条件
设备尺寸4500mm (W)×5500mm (D)×3200mm (H) approx.
电源3相,200v,50/60Hz, 约80KVA
水流量180升/分以上
空气压力0.5MPa 以上
重量约5400kg
企业简介
企业法人：
李由根
企业类型：
有限责任公司(自然人投资或控股)
成立日期：
2010-05-07
经营状态：
在业
工商注册号：
441900000794961
社会统一信用代码：
914419005555597560
组织机构代码：
555559756
注册资金：
310.000000万人民币
经营范围：
研发、加工、产销：光学制品，电子产品、光学仪器及其软件、印刷板辅料；货物进出口、技术进出口。(依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动)〓
企业地址
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