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设备简介：
本机主要用于硅片、陶瓷片、石英晶体及其它半导体材料的双面高精度研磨或抛光，也适用于其它金属、非金属、光学玻璃、蓝宝石等硬、脆、薄材料的双面高精度研磨或抛光。
安装条件
序号 | 项目 | 指标要求 |
1 | 环境 | 室内地面平坦、无振动源、无灰尘烟雾污染 |
2 | 水源 | 纯水或自来水 |
3 | 电源 | 约70kW AC380V 50Hz（总功率） |
4 | 气源 | 压缩空气源 0.6Mpa，接口φ16mm（外径） |
5 | 温度 | 10℃-25℃ |
6 | 相对湿度 | ≤95% |
7 | 外形尺寸（长x宽x高） | 3700x3000x4100mm（含地脚高度及电器柜尺寸） |
8 | 主机重量 | 28000Kg |
9 | 主机颜色 | BH白或订制 |
三、主要特点
序号 | 项目 | 特点 | |
1 | 压力控制 | 运动控制器+压力传感器+电气比例阀+低摩擦气缸实现高精度压力控制，上盘 使用压力1200Kg，精度可达2% | |
2 | 上盘调心 | 采用万向节结构，调心灵活，承载力高 | |
3 | 上盘防落装置 | 双重机械锁定，安全性更高 | |
4 | 高精度速度控制 | 自编程实现低速平稳、启停同步运转控制，内外齿圈采用伺服控制，速度控制更精准 | |
5 | 精密传动系统 | 高精度小齿隙全齿轮传动 | |
6 | 下盘支撑 | 高精度流体轴承支撑 | |
7 | 免维护设计 | 齿轮采用自动集中润滑装置，关键器件采用进口知名品牌，轴承留有润滑接口 | |
8 | 强制散热系统 | 轴流风机排热方式，并预留抽风接口，用户可自行连接 | |
9 | 清洗便捷 | 低台面、半裸式接液盆 | |
10 | 同步升降 | 齿圈太阳轮同步升降，采用伺服电机拖动，可自动或手动调节高度，延长使用寿命 | |
11 | 游轮精确定位 | 齿圈太阳轮采用伺服电机拖动，可实现游轮的精确定位 | |
12 | 水液分离装置 | 水液切换程序控制，自动分离，操作便捷，清洗水可自动排放 | |
13 | 整机减振 | 防振式结构设计安装，设备更稳定 | |
14 | 防护设计 | 齿圈、太阳轮采用不锈钢制作，接液盆，托盘、抛盘等接触到工作液的地方均喷涂特氟龙 | |
15 | 供液系统 | 桶体设有排污口，具备温度、液位监测，具有加热和冷却功能，具有液泵和搅拌泵，出口设有过滤器，管路设有流量监测，能在线实时检测流量 | |
16 | 自动测厚 | 设备装有机械测厚系统，能在线实时检测工件加工厚度 | |
17 | 分级管理 | 密码分级管理，不同人员具有不同的操作权限 | |
18 | 工艺适用性 | 程序控制 | 可储存多套工艺参数，每套工艺可达20步，工艺参数设置包括（压力、时间、速度、速比、缓降压力、浮动时间等） |
速比搭配 | 四电机独立同步拖动，上下盘、内齿、外齿（即可正转，也可反转）转速可任意设定，具有配方功能 | ||
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