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- 图文介绍
- 企业简介
- 企业地址
产品参数
型号
OTFC-1300
新旧程度
9成新
设备所在地
东莞茶山
设备生产产地
日本
产品数量
1
图文介绍
设备名称OTFC-1300CBI/DBI
真空室SUS304, φ1300mm×1610mm (H)
工件架φ1130mm
工件架转速10rpm to 50rpm(可变)
光学膜厚控制HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪
波长范围：350nm to 1100nm
反射式/透射式
水晶式膜厚计XTC/3+6点式水晶传感器
蒸发源电子2套
离子源17cmRF离子源
排气系统机械泵+2个扩散泵+Polycold（或2个冷凝泵）
达到压力7.0×10-5 Pa 以下
排气时间15分（大气压～1.3×10-3 Pa)
基板温度 高：350℃
工作条件
设备尺寸约5000mm(W)×6500mm(D)×3500mm(H)
电源3相,200v,50/60Hz, 约104KVA
水流量140升/分以上
空气压力0.5MPa以上
重量约8500kg
企业简介
企业法人：
李由根
企业类型：
有限责任公司(自然人投资或控股)
成立日期：
2010-05-07
经营状态：
在业
工商注册号：
441900000794961
社会统一信用代码：
914419005555597560
组织机构代码：
555559756
注册资金：
310.000000万人民币
经营范围：
研发、加工、产销：光学制品，电子产品、光学仪器及其软件、印刷板辅料；货物进出口、技术进出口。(依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动)〓
企业地址
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