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韶关市金源金属材料有限公司
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靶材绑定
绑定是指用焊料将靶材与背靶焊接起来。主要有三种的方式:压接、钎焊和导电胶。靶材绑定常用钎焊,钎料常用In、Sn、In –Sn。一般使用软钎料的情况下,要求溅射功率小于20W×cm-2。
1、防止靶材受热不匀碎裂,例如ITO、SiO2、陶瓷等脆性靶材及烧结靶材;节省成本,防止变形,如靶材太贵,可将靶材做薄些,绑定背靶以防止变形。
2、常用无氧铜,导电性好,无氧铜的导热性比紫铜好;厚度适中,一般建议背靶厚度3mm左右。太厚,消耗部分磁强;太薄,容易变形。
3、绑定前将靶材和背靶表面预处理;将靶材和背靶放置在钎焊台上,升温到绑定温度;将靶材和背靶金属化;粘接靶材和背靶;降温和后处理。
4、溅射温度不宜太高;电流要缓慢加大;循环冷却水应低于35摄氏度;适宜的靶材致密度。




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