工

作

台

X/Y轴行程

300mm ╳ 200mm

Z轴行程

调焦行程200mm，工作距离90mm

大理石

台面尺寸

460mm ╳ 360mm

玻璃台面尺寸

340mm ╳ 240mm

传动型式

X/Y/Z轴：采用Hiwin高精度直线导轨+研磨丝杆；

X/Y/Z三轴NSK轴承

光学尺分辨率

X/Y/Z三轴金属光栅尺：0.0005mm

XY测量线性精度

2+L/200(μm)

XY重复性精度

0.002mm

驱动电机

HCFA高性能CNC伺服电机

摄像机

Hikvision230万像素 千兆网彩色工业数字相机

测量软件

全自动影像测量软件，编程操作简单，易上手

（测量数据可按客户报表格式导出或导入MES、QMS系统）

镜头

自动变倍镜头

光学放大倍率0.6-5.0X，影像放大倍率26-330X                   （放大倍率为近似值，与显示器的尺寸及分辨率相关）

可选配

同轴光、激光定位导航

探针、激光镭射头(测量工件高度)

光源系统

表面光源：5环8分区LED冷光源、寿命长、亮度255级可调

底光源：LED白色冷光源、寿命长、亮度255级可调

仪器外形尺寸（L*W*H）

900mm ╳ 750mm ╳ 1800mm

仪器重量

250kg