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产品参数
加工定制
是
品牌
郑科探
型号
KT-Z1650PVD
测量范围
2
电源
3
工作电压
220
外形尺寸
30
重量
22
图文介绍
桌面小型离子溅射仪，
离子溅射仪为一种有着紧凑结构的桌上型镀膜系统，对于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜尤为适用。试样干燥清洁为离子溅射镀膜的基本要求。在必要时，交换试样与阴极的位置利用火花放电从而对试样表面进行清洁，之后试样复原，再进行溅射镀膜。铁、镍、铜铅等为离子溅射仪常用的阴极材料，有时电刚金、铂、钯、铟和其他金属也能够作为阴极材料，氧气为离子溅射仪常用的反应气体。
离子溅射仪在扫描电镜（SEM）的样品喷金方便为专用的仪器，样品的导电性及导热性可以非常有效的提供，使恒沉积速率得到确保，使等离子体对样品的热影响和离子轰击损伤减少，使扫描电镜观测结果得到了较为显著的提高。
桌面小型离子溅射仪技术参数；
控制方式 | 7寸人机界面 手动 自动模式切换控制 |
溅射电源 | 直流溅射电源 |
镀膜功能 | 0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序 |
功率 | ≤1000W |
输出电压电流 | 电压≤1000V 电流≤1A |
真空 | 机械泵 ≤5Pa（5分钟） 分子泵≤5*10^-3Pa |
溅射真空 | ≤30Pa |
挡板类型 | 电控 |
真空腔室 | 石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm |
样品台 | 可旋转φ62 （可安装φ50基底） |
样品台转速 | 8转/分钟 |
样品溅射源调节距离 | 40-105mm |
真空测量 | 皮拉尼真空计（已安装 测量范围10E5Pa 1E-1Pa） |
预留真空接口 | KF25抽气口 KF16放气口 6mm卡套进气口 |
企业简介
企业法人：
邱迎迎
企业类型：
有限责任公司(自然人独资)
成立日期：
2015-09-01
经营状态：
-
工商注册号：
410102000140290
社会统一信用代码：
91410102358043099C
组织机构代码：
-
注册资金：
51.000000万人民币
经营范围：
销售：仪器仪表，电子元器件，高低压成套设备，机电设备，阀门，五金交电，管件；实验室设备的安装；机电设备安装工程（凭有效资质证经营）；实验室设备及配件的技术开发；软件开发；自动化控制设备的的技术开发；从事货物和技术的进出口业务。
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