Nidek 晶片平坦度/翘曲度测量仪FT-17和FT-900(Si/Ge/GaAs/InP/SiC/LT/LN)

Nidek高精密平面度检测仪, 适用于透明晶体物体（如蓝宝石晶片等）和LED外延晶片、芯片的检测。

其应用不仅局限于对蓝宝石衬底单面/双面的表面平坦检测，而且更多地应用于对外延之后，外延层表面品质、TTV等的检测和评估。

在电脑显示屏上，它可自动生成三维立体的表面彩色效果图，以帮助人们清楚细微地、直观地了解和掌握对象物表面层生长的情况。

此外，它也适用于液晶电视屏幕面板所需要的大而平的图形掩膜的检测。

Nidek高精密平面度检测仪, 适用于透明晶体物体（如蓝宝石晶片等）和LED外延晶片、芯片的检测。

其应用不仅局限于对蓝宝石衬底单面/双面的表面平坦检测，而且更多地应用于对外延之后，外延层表面品质、TTV等的检测和评估。

在电

测试项脑显示屏上，它可自动生成三维立体的表面彩色效果图，以帮助人们清楚细微地、直观地了解和掌握对象物表面层生长的情况。

该产品目前已在国内大手厂商中广泛采用，特别是在外延片的品质检测方面。颇受好评。

据不完全统计，至2012年底该产品已被国内LED衬底和外延片80多家厂家所使用。

吸附：GFLR、GF3D、GF3R、TV、GBIR、TAPER、TAng、SFLR、SFLD、SFQR、SF3R、SF3D、SBIR、SBID

非吸附：BOW、SORI、整体应力、局部应力

可测试晶片种类

切割片、研磨片、抛光片、外延片、磊晶片

可选配光刻区域模拟软件、应力分析软件等