现代工业生产中，表面三维微观形貌的测量能更真实地反映零件表面的特征以及衡量表面的质量。SuperView W3三维轮廓光学扫描测量仪可以达到纳米级的检测精度，它利用白光干涉扫描技术为基础，是用于样品表面微观形貌检测、快速获得被测工件表面三维形貌和数据的精密仪器。

产品功能

1）具备各种类型样品表面微观形貌的3D轮廓重建与测量功能；

2）具备表面粗糙度和微观轮廓的检测功能，粗糙度范围涵盖0.1nm到数十微米的级别；

3）具备校平、去除形状、去噪、滤波等数据处理功能；

4）具备粗糙度分析、轮廓分析、结构分析、功能分析等表面参数分析功能；

5）具备自动对焦、自动测量、自动多区域测量、自动拼接测量等自动化功能；

6）具备一键分析、多文件分析等快速、批量分析功能；

7）具备word、excel等数据报表导出功能。

技术指标

SuperView W3三维轮廓光学扫描测量仪广泛应用于如纳米材料、航空航天、半导体等各类精密工件表面质量高要求的领域中，可以说只有3d非接触式光学轮廓仪才能达到微型范围内重点部位的纳米级粗糙度、轮廓等参数的测量。

半导体领域专项功能

* 同步支持6、8、12英寸三种规格的晶圆片测量，并可一键实现三种规格的真空吸盘的自动切换以适配不同尺寸晶圆；

* 具备研磨工艺后减薄片的粗糙度自动测量功能，能够一键测量数十个小区域的粗糙度求取均值；

* 具备划片工艺中激光镭射开槽后的槽道深宽轮廓数据测量功能，能够一键实现槽道深宽相关的面和多条剖面线的数据测量与分析；

* 具备晶圆制造工艺中镀膜台阶高度的测量，覆盖从1nm~1mm的测量范围，实现高精度测量。