中图仪器SJ6000激光干涉仪采用进口高稳频氦氖激光器、多参数环境补偿技术、双纵模热稳频技术、高速数字信号处理系统等技术，通过与不同的光学镜组结合，实现对线性、垂直度、角度、直线度、平面度等几何量的检测。线性测长精度0.5ppm，激光稳频精度：0.05ppm。

产品特点

• SJ6000激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体：

• 采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率；

• 采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时；

• 采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；

• 采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；

• 采用高性能计算机控制系统及软件技术，支持中文、英文和俄文语言，友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。

SJ6000激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。

激光干涉仪图片

主要技术指标

主机

稳频精度：0.05ppm

动态采集频率：50 kHz

预热时间：约8分钟

工作温度范围：(0~40)℃

存储温度范围：(-20~70)℃

环境湿度：(0~95)%RH

环境补偿单元

空气温度传感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

材料温度传感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃

空气湿度传感器：±5%RH (0~95)%RH

大气压力传感器：±0.1kPa (65~115)kPa

线性测量

测量距离：(0~80)m (无需远距离线性附件)

测量精度：0.5ppm (0~40)℃

测量分辨力：1nm

测量至大速度：4m/s

角度测量

轴向量程：(0~15)m

测量范围：±10°

测量精度：±(0.02%R+0.1+0.25M)″ (R为显示值，单位：″；M为测量距离，单位：m)

测量分辨力：0.1″

平面度测量

轴向量程：(0~15)m

测量范围：±1.5mm

测量精度：±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)

基板尺寸：180mm可调，360mm可调

测量分辨力：0.1μm

直线度测量

垂直度测量

自动精密转台

型号：WR50

角度测量范围：(0~360)°

测量精度：±1″

分辨力：0.1″

高转速：10rpm

高跟踪速度：2rpm

重量：1.9kg

高度：148mm

直径：112mm

通信方式：蓝牙传输

供电方式：锂电池