SuperViewW1非接触式光学3d轮廓仪是利用白光干涉扫描技术为基础研制而成，是一种用于对样品表面进行快速、重复性高、高分辨率的三维检测的精密仪器，它的特点是可以达到纳米级的检测精度。

数秒内，SuperViewW1非接触式光学3d轮廓仪可以获得平面和曲面表面上测量所有常见的粗糙度参数。也可以选择拼接功能软件升级来组合多个影像以提供大面积测量。从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。测量范围可从纳米级粗糙度到毫米级的表面形貌，主要用于成品质量的管理，确保良品合格率。

特点

一是非接触高精密测量，不会划伤甚至破坏工件；

二是测量速度快，不必像探头逐点进行测量；

三是不必作探头半径补正，光点位置就是工件表面测量的位置；

四是对高深宽比的沟槽结构，可以快速而准确的得到理想的测量结果。

随着白光干涉测量技术的发展和完善，白光干涉仪已经得到了广泛的应用。在微电子、微机械、微光学等领域，SuperViewW1非接触式光学3d轮廓仪可以提供更高精度的检测需求。“见一叶而知深秋，窥一斑而见全豹” 这句话用来形容中图仪器在超精密加工显微测量场景中发挥的作用恰如其分。

注意事项

1、现场开箱后，核对设备型号、配件规格与数量；确认外观无划伤或掉漆；确认各部件有无损坏或异常。

2、使用中图仪器专用玻璃标准器进行设备的校准，确认仪器符合技术协会的要求。

3、验收标准参照现行国家（或行业）标准以及本技术协议为准。

4、验收合格后，供方需和需方签订《产品验收报告》。