中图仪器3d光学轮廓仪设备是以白光干涉技术为原理，结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学测量仪器。

能够以优于纳米级的分辨率，测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。

技术参数

产品型号：SuperView W1系列

产品名称：光学3D表面轮廓仪

影像系统：1024×1024

光学ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可选）

干涉物镜：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可选）

XY平台：尺寸320×200mm，行程140×110mm，电动、手动同时具备，均为光栅闭环反馈

Z轴行程：100mm，电动

Z向扫描范围：10mm

Z向分辨率：0.1nm

水平调整：±5°手动

粗糙度RMS重复性：0.005nm

台阶高测量：准确度0.3%，重复性0.08% 1σ

主要特点：非接触式无损检测，一键分析、测量速度快、效率高

生产企业：深圳市中图仪器股份有限公司

注释：更多详细产品信息，请联系我们获取

中图仪器3d光学轮廓仪设备粗糙度分析操作步骤：

       1. 将样品放置在夹具上，确保样品状态稳定；

       2. 将夹具放置在载物台上；

       3. 检查电机连接和环境噪声，确认仪器状态；

       4. 使用操纵杆调节三轴位置，将样品移到镜头下方并找到样品表面干涉条纹；

       5. 完成扫描设置和命名等操作；

       6. 点击开始测量（进入3D视图窗口旋转调整观察一会）；

       7. 进入数据处理界面，点击“去除外形”，采用默认参数，点击应用获取样品表面粗糙度轮廓；

       8. 进入分析工具模块，点击参数分析，直接获取面粗糙度数据，点击右侧参数标准可更换参数标准，增删参数类型；

       9. 如果想获取线粗糙度数据，则需提取剖面线；

       10. 进入数据处理界面，点击“提取剖面”图标，选择合适方向剖面线进行剖面轮廓提取；

       11. 进入分析工具界面，点击“参数分析”图标，点击右侧参数标准，勾选所需线粗糙度相关参数，即可获取线粗糙度Ra数据。

优点

• 非接触高精密测量，不会划伤甚至破坏工件；

• 测量速度快，不必像探头逐点进行测量；

• 不必作探头半径补正，光点位置就是工件表面测量的位置；

• 对高深宽比的沟槽结构，可以快速而准确的得到理想的测量结果。

随着白光干涉测量技术的发展和完善，3d光学轮廓仪已经得到了广泛的应用。在微电子、微机械、微光学等领域，中图仪器3d光学轮廓仪设备可以提供更高精度的检测需求。