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无锡冠亚恒温制冷技术有限公司

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半导体冷水机丨刻蚀/镀膜工艺专用冷却方案

价格
¥126577.00
起订量 1台
可售 20台
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产品参数
加工定制
品牌
冠亚制冷
型号
FLTZ-002
温度控制方式
PLC
温度范围
5℃~90℃
外形尺寸
95*38*106
图文介绍


在半导体制造工艺中,等离子刻蚀冷却Chiller作为关键温控设备,通过制冷技术和智能控制系统,为工艺稳定性提供保障。

一、等离子刻蚀工艺的温控挑战

等离子刻蚀过程中,反应腔室内的高频电场将气体电离为等离子体,这些高能粒子轰击硅片表面完成刻蚀。然而,等离子体释放的巨大热量会使腔室温度急剧上升。若温度失控,可能引发以下问题。

1、刻蚀速率波动:温度变化影响化学反应速率,导致刻蚀深浅不一致;

2、材料热应力损伤:局部过热可能使硅片或掩膜层产生裂纹;

3、副产物沉积:高温加速反应副产物在腔室壁的附着,降低工艺稳定性。

因此,等离子刻蚀冷却Chiller需在短时间内将腔室温度控制在很小的精度内,同时适应-100℃150℃的宽温域需求。

二、Chiller的核心工作原理

等离子刻蚀冷却Chiller通过闭环制冷系统实现温控,其核心流程包括,

1、制冷剂循环

压缩机将气态制冷剂压缩为高温高压气体;气体经风冷或水冷式冷凝器液化,释放热量;电子膨胀阀调节液态制冷剂压力,使其低温蒸发;制冷剂在蒸发器中吸收反应腔室的热量,完成降温。

2、全密闭循环设计

系统采用不锈钢SUS304管路和E密封材料,杜 水分和杂质侵入,确保导热介质纯净度。

3、双变频技术

循环泵和压缩机均采用变频调节,根据实时负载自动调整功率,在保证制冷效率。

三、技术特点与创新优势

1、精度控温

采用PID算法和PLC控制器,实现控温精度;支持多段温度曲线编程,适应刻蚀工艺的复杂温控需求(如快速升降温)。

2、宽温域与制冷

低温复叠制冷系列支持宽温域,满足深紫外刻蚀的低温需求;直冷型Chiller通过制冷剂直接蒸发换热,效率较传统液冷提升30%以上。

等离子刻蚀冷却Chiller凭借其温控、制冷和可靠的特性,已成为半导体制造链条中配套使用的设备。随着芯片工艺对温控精度的要求越来越高,等离子刻蚀冷却Chiller也将持继续前进。





企业简介
联系信息:
刘经理
联系电话:
13912479193
固定电话:
-
所在区域:
江苏省无锡市江苏省无锡市锡山区翰林路55号
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企业法人:
颜厥枝
企业类型:
有限责任公司(自然人投资或控股)
成立日期:
2010-11-08
经营状态:
在业
工商注册号:
320213000144217
社会统一信用代码:
913202145643217826
组织机构代码:
564321782
注册资金:
6000.000000万人民币
经营范围:
制冷设备、超低温冷冻机、制冷加热控温系统、加热循环系统、防爆电气设备、正压防爆电气柜、自动化集成分散控制系统、实验仪器装置、机械设备及配件的制造、加工、销售;软件技术开发;自营各类商品和技术的进出口(国家限定公司经营或禁止进出口的商品和技术除外)。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动) 许可项目:特种设备安装改造修理(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动,具体经营项目以审批结果为准)
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